Vakuuminio magnetroninio purškimo dengimo mašina

Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine

Vakuuminio magnetroninio purškimo dengimo mašina

Siųsti užklausą

Pokalbis dabar

produkto pristatymas

Vakuuminio magnetroninio purškimo dengimo mašina

Specifikacija

TOB-1100X-SPC-16M magnetroninis purškiamasis dengimo įtaisas naudoja purškimo efektą, susidarantį bombarduojant tikslinę medžiagą vakuuminėje aplinkoje, todėl tikslinės medžiagos atomai arba molekulės išsišakoja iš kieto paviršiaus, ir plonos plėvelės susidarymo procesas nusėda ant pagrindo. Priklauso fizinio garų nusodinimo (PVD) paruošimui plonasluoksnių sluoksnių technologija. TOB-1100X-SPC-16M magnetroninis dulkintuvas gali būti naudojamas skanuojamojo elektroninio mikroskopo mėginiams ruošti laboratorijoje, o kompaktiškas įrangos dydis taupo vietą laboratorijoje; operacija paprasta ir tinka pradedantiesiems.

funkcijos

Jame yra vakuuminis matuoklis ir purškimo srovės matuoklis, kuris gali stebėti darbo būseną realiu laiku.
Reguliuodamas purškimo srovės valdiklį ir mikrovakuuminį dujų vožtuvą, jis valdo vakuumo kameros slėgį, jonizacijos srovę ir parenka reikiamas jonizacijos dujas, kad būtų pasiektas geriausias dangos efektas.
Guminis sandarinimo žiedas, esantis varpelio korpuso krašte, yra specialiai sukurtas užtikrinti, kad stiklinis varpelio korpusas nebūtų įskilęs ilgą laiką naudojant.
Keramikinės aukštos įtampos elektrodų jungiamosios detalės yra patvaresnės nei įprastai naudojami guminiai tarpikliai.
Pagal dujų jonizacijos charakteristikas elektriniame lauke naudojama didelės talpos purškimo vakuuminė kamera ir atitinkamas purškimo taikinio plotas, kad purškiamas sluoksnis būtų tolygesnis ir grynesnis.
Purškimo galvutėje naudojama Peltier aušinimo technologija, kad būtų galima gauti aukštos kokybės smulkių dalelių dangas.
Galima įsigyti vandeniu aušinamas purškimo galvutes ir vandeniu aušinamus laikiklius.

produkto pavadinimas	Vakuuminio magnetroninio purškimo dengimo mašina
Produkto modelis	TOB-1100X-SPC-16M
Montavimo būklė	Šią įrangą reikia naudoti 1000 m arba mažesniame aukštyje, 25 laipsnių ±15 laipsnių temperatūroje ir 55 %Rh±10 %Rh drėgmei. 1. vanduo: įrangoje turi būti įrengtas pasirenkamas savaime cirkuliuojantis aušinimo vandens aparatas (pildant gryną vandenį arba dejonizuotą vandenį) 2. elektra: AC220V 50Hz, turi turėti gerą įžeminimą 3. dujos: įrangos kamera turi būti užpildyta argonu (grynumas 99,99 % ar daugiau), reikia turėti savo argono dujų balioną (su slėgio mažinimo vožtuvu) 4. Darbinis stalas: dydis 600mm×600mm×700mm, laikantis 50kg ar daugiau. 5. Vėdinimo įrenginys: nereikalingas
Pagrindinis parametras	1. Taikinys: Ø50mm
	2. Vakuuminė kamera: Ø160mm×120mm
	3. Vakuuminis laipsnis: mažesnis arba lygus 4 × 10-2mbar
	4, maksimali srovė: 50 mA (pasirinktinai 100 mA)
	5. Galima nustatyti ribinį laiką: 9999s
	6. Mikrovakuuminis vožtuvas: prijunkite Ø3 mm žarną
	7. ribinė įtampa: 1600V DC
	8. mechaninis siurblys: 2L/s
	9. Tikslinė medžiaga: Reikalingas dydis: φ50mm×(0.{2}}.5)mm (storis) Tinka Au, Ag, Cu ir kitų metalų purškimui (yra mūsų įmonėje)
	10. Dydis: 360mm×300mm×380mm Bendras svoris: 50 kg, grynasis svoris: 15 kg