Verslo sluoksnio CVD krosnis

Modelis:TOB-1200-LTS-FB
TOB-1200-LTS-FB yra verdančio sluoksnio CVD krosnis, skirta milteliniam paviršiniam nusodinimui. Dujos patenka į kvarcinio vamzdelio apačią ir praeina aukštyn per porėtą kvarco plokštę, suspensdamos miltelius 200 mm šildomoje zonoje. 1200 laipsnis per mažiau nei 1 valandą, 1150 laipsnių nenutrūkstamai.

Siųsti užklausą

Pokalbis dabar

produkto pristatymas

„Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd.“ yra viena patikimiausių cvd skystojo sluoksnio krosnių gamintojų ir tiekėjų Kinijoje. Sveiki atvykę į mūsų gamyklą įsigyti aukštos kokybės skystojo sluoksnio cvd krosnį konkurencinga kaina. Jei turite klausimų dėl bendradarbiavimo, nedvejodami rašykite mums el.

Verslo sluoksnio CVD krosnis

Specifikacija

Produkto apžvalga

TOB-1200-LTS-FB yra verdančio sluoksnio CVD krosnis, sukurta miltelinio paviršiaus nusodinimo eksperimentams. Aukšto grynumo kvarcinio vamzdžio apatinėje dalyje yra akyta kvarco plokštė; milteliai sėdi ant tos plokštelės, dujos tiekiamos iš vamzdelio apačios, o srautas į viršų per plokštelę pakelia daleles taip, kad jos plūduriuoja įkaitintoje zonoje, kol vyksta nusodinimas.

Krosnis pasiekia 1200 laipsnių per mažiau nei 1 valandą ir nuolat palaiko 1150 laipsnių, su 200 mm šildymo zona ir 100 mm pastovios temperatūros zona. Vamzdis yra Φ25 mm arba Φ50 mm, 600 mm ilgio, o porėta plokštelė pagaminta pagal porų dydį, kurio reikia jūsų milteliams. Dvisluoksnis korpusas su oro aušinimu, padalintas krosnies korpusas vamzdžių keitimui, kvarcinio vamzdžio apsauga ir mechaninis slėgio mažinimo vožtuvas yra standartiniai.

Pagrindinės TOB-1200-LTS-FB inžinerinės charakteristikos

Skirtas milteliniam nusodinimui:akyta kvarcinė plokštė ir apatinė dujų įleidimo anga yra taip, kad dalelės būtų suspenduotos šildomoje zonoje, o ne tik dedamos į ją.

Dvisluoksnis apvalkalas su oro aušinimu:išorinis apvalkalas išlieka vėsesnis nei vienos sienos krosnis, kurios temperatūra yra tokia pati.

Padalytas, atidaromas krosnies korpusas:korpusas atsidaro taip, kad kvarcinį vamzdį galima pakeisti neišardžius krosnies.

Kvarcinio vamzdžio apsauga:skydas aplink vamzdį apsaugo nuo sužalojimų, jei kvarcas sulūžtų vakuume arba šiluminio šoko metu.

Mechaninis apsauginis slėgio mažinimo vožtuvas:apsaugo nuo per didelio slėgio užsikimšus akytai kvarcinei filtro plokštelei.

Aliuminio oksido kamera su aukštos temperatūros danga:didelio grynumo aliuminio oksido pluošto izoliacija su iš JAV importuota aukštos temperatūros aliuminio oksido danga ant kameros paviršiaus, kad būtų didesnis šildymo efektyvumas ir ilgesnis kameros tarnavimo laikas.

HRE lydinio šildymo elementai:1200 laipsnių pasiekiama per mažiau nei 1 valandą, 1150 laipsnių nuolatinis, ±1 laipsnio tikslumas naudojant K tipo termoporą.

Nerūdijančio plieno sandarinimo mazgas:Standartinis dvigubo silikono sandarinimo žiedo flanšo mazgas su pasirenkamais siurblių komplektais iki 5 × 10⁻¹ Pa (mechaninis) arba 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

Išsamios specifikacijos

1. Krosnies korpusas ir šiluminės specifikacijos

Parametras	Specifikacija
Įrangos galia	110V 1,2KW
Kameros medžiaga	Aukšto grynumo aliuminio oksido pluošto medžiaga
Šildymo elementas	HRE aukštos temperatūros lydinio viela
Maksimali temperatūra	1200 laipsnių (per mažiau nei 1 valandą)
Nuolatinė temperatūra	1150 laipsnių (nepertraukiamas)
Temperatūros tikslumas	±1 laipsnis
Termopora	K tipo termopora
Maksimalus šildymo greitis	Mažesnis arba lygus 20 laipsnių per minutę
Kameros dydis	80 mm × 200 mm
Šildymo zonos ilgis	200mm
Pastovios temperatūros zonos ilgis	100mm

2. Kvarcinis vamzdis ir porėta plokštė

Parametras	Specifikacija
Vamzdžio dydis	Φ25 mm arba 50 mm × 600 mm
Vamzdžio medžiaga	Didelio grynumo specialiai pagamintas kvarcinis vamzdis
Porėtos kvarco plokštės porų dydis	4–550 μm, galimos ir pritaikomos kelios specifikacijos

3. Vakuuminis ir sandarinimo sistema

Prekė	Specifikacija
Sandarinimo sistema	Standartinis: vienas dvigubo silikono O žiedo nerūdijančio plieno sandarinimo flanšo komplektas su mechaniniu apsauginiu slėgio mažinimo vožtuvu ir kvarcinio vamzdžio apsauga
Vakuuminis, mechaninis siurblių komplektas	5 × 10⁻¹ Pa (neprivaloma)
Vakuuminis, turbo siurblių komplektas	5 × 10⁻³ Pa (neprivaloma)

4. Matmenys, svoris ir garantija

Prekė	Specifikacija
Išoriniai matmenys	510 mm × 430 mm × 1000 mm
Grynasis svoris	Apie 35 kg
Garantija	Vienerių metų garantija, visą gyvenimą trunkanti techninė pagalba

5. Eksploatacinės medžiagos ir garantijos išimtys

Prekė	Detalė
Eksploatacinės medžiagos neįtrauktos	Kaitinimo elementas, termopora, mėginio tiglis ir panašios sunaudojamos dalys neįtraukiamos
Rūgščios ir ėsdinančios dujos	Garantija netaikoma žalai, atsiradusiai dėl korozinių dujų ir rūgščių dujų naudojimo

Valdymo sistema

Valdiklis veikia su integruota operacine sistema su 7 colių tikros spalvos jutikliniu ekranu. Pakartojamam miltelinio CVD darbui svarbios keturios funkcijos:

Funkcija	Detalė
Išsaugotos temperatūros kreivės	Galima iš anksto išsaugoti 15 temperatūros kreivių, todėl nereikia iš naujo nustatyti kito eksperimentinio proceso
Integruota operacinė sistema	Perjungiama kinų / anglų grafinė sąsaja, 7 colių tikros spalvos jutiklinio ekrano įvestis, išmanus žmogaus ir mašinos dialogo režimas
Netiesinė temperatūros korekcija	Netiesinė mėginio temperatūros korekcija, kad rodoma vertė atitiktų išmatuotą mėginio temperatūrą
Suplanuota pradžia	Galima pasirinkti kaip papildomą funkciją, todėl galima nustatyti, kad bėgimas prasidėtų pasirinktu laiku
Sistemos apsauga	Perkaitimo signalas, termoporos pertraukimo indikatorius ir apsauga nuo nuotėkio

Toliau pateiktos ekrano kopijos atitinka aukščiau pateiktų eilučių tvarką: išsaugota kreivės biblioteka, kreivės rengyklė, perjungiama sąsaja, netiesinė korekcija, suplanuotas paleidimas ir du apsaugos signalai.

TOB-1200-LTS-FB fluidized bed CVD furnace with vertical quartz tube and split furnace body