PECVD krosnis

1. Tipas: 1200 laipsnių slankiklio tipo dviejų zonų PECVD sistema
2. Fazės numeris: vienfazis
3. Termoporos tipas: K tipas
4.Modelis:TOB-DSP-1200 laipsnis -PECVD
5.MOQ:1 rinkinys

Siųsti užklausą

Pokalbis dabar

produkto pristatymas

1200 laipsnių slankiklio tipo dviejų zonų PECVD sistema

Specifikacija

Modelis	TOB-DSP-1200 laipsnis -PECVD-I	TOB-DSP-1200 laipsnis -PECVD-II		TOB-DSP-1200 laipsnis -PECVD-III	TOB-DSP-1200 laipsnis -PECVD-IV
Galia	3 kW	3 kW		4KW	4KW
Krosnies vamzdžio dydis (mm)	Skersmuo 60(OD) X1800mm	Skersmuo 80(OD) X1800mm		Skersmuo 100(OD) X1800mm	Skersmuo 120(OD) X1800mm
Matmenys	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Maitinimo įtampa	220V
Fazės numeris	Vienfazis
Valdymo režimas	Judiano temperatūros kontrolė 30 sekcijų gali naudoti tik PID temperatūros reguliavimą. FP93 temperatūros kontrolė (iš Japonijos) (Už papildomą mokestį pakeisti importuotus instrumentus) 1,40 sekcijų programos temperatūros valdymas gali būti suskirstytas į 4,2,1 grupinę programą, jei programa suskirstyta į keturias grupes, kiekvienas programos segmentas 10, 2,6 grupės PID valdymas, žema, vidutinė ir aukšta temperatūra gali turėti PID rinkinį, kad kiekvienas segmentas galėtų valdyti temperatūrą labai tiksliai.
Temperatūros valdymo režimas	Išmanusis PID
Apsauga nuo perdegimo ir ekranas	Taip
Apsauga nuo perkaitimo	Taip
Apsauga nuo viršsrovių	Taip
Valdymo tikslumas	+/- 1 laipsnis
Trigeris	Fazių poslinkio gaidukas
SCR	106 / 16E Vokietija Simonas Kangas
1,2 temperatūros zonos maksimali temperatūra	1200 laipsnių
1,2 temperatūros zona Nominali temperatūra	1150 laipsnių
Šildymo greitis	Mažesnis arba lygus 30 laipsnių / min (galima pakeitus užklausą)
Rekomenduojamas šildymo greitis	Mažesnis arba lygus 15 laipsnių / min
Termoporos tipas	K tipo
1,2 temperatūros zonos šildymo ilgis	205 mm
Aplinkinio paviršiaus temperatūra	Mažesnis arba lygus 45 laipsnių
Plazmos RF galia	Galios išėjimo diapazonas		0-500W
	Didžiausia atspindėta galia		10W
	Signalo dažnis		13,56 MHz ± 0,005 %
	Triukšmas		<30 dB
	Oro aušinimas		aušinimo būdas
	Įėjimo galia		208-240V 50 / 60 HZ
GX tiekimo sistemos pagrindiniai parametrai	Standartinis diapazonas		Protonų srauto valdiklis 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (galite pasirinkti bet kokią skalę)
	Tikslumas		± 1.5%
	Slėgio kritimas		<0.01MPa
	Pakartojamumas		± 0.2% F.S
	Maks Darbinis slėgis		3 MP
VS-0.1 išmetimo sistema	maitinimo šaltinis		220V / 380V 380W
	Siurbimo greitis		2L / S
	Atsparumo vakuumo matuoklis		ZDR-I
	Vakuuminio matavimo diapazonas		0.1-10 5 Pa
	Vakuuminis siurblys		VRD-8
	Gofruotas vamzdis		KF25X1000mm
	Vakuuminė sistema		10 -1Pa