Pirštinių dėžutė ir vakuuminio dengimo mašina

Modelis: TOB-GB-ZK

Taikymas

Jis daugiausia naudojamas eksperimentiniams tyrimams ir saulės elementų perovskito, OLED ir PLED, puslaidininkių paruošimui ir pan.

Darbo principas

Ši sistema yra integruota su vakuuminės dangos sistema ir pirštinių dėžės sistema, kuri gali užbaigti plonos plėvelės išgarinimą aukšto vakuumo garinimo kameroje, o po išgarinimo laikyti, paruošti ir išbandyti mėginius didelio grynumo inertinių dujų atmosferoje pirštinių dėžėje.

Privalumai

Garavimo dangos ir pirštinių dėžutės derinys realizuoja visiškai uždarą garinimo, pakavimo, bandymo ir kitų procesų gamybą, kad visas plėvelės auginimo ir prietaiso paruošimo procesas būtų integruotas į visiškai kontroliuojamą aplinkos atmosferos sistemą, pašalinant nestabilių veiksnių įtaką. atmosferinėje aplinkoje rengiant organines didelio ploto grandines, bei užtikrinant didelio našumo, didelio ploto organinių optoelektroninių prietaisų ir grandinių paruošimą.

Universali magnetroninio purškimo dangos sistema

Pagrindinės programos

Naudojamas įvairių specialiųjų poreikių metalo plėvelėms, puslaidininkinėms plėvelėms, dielektrinėms plėvelėms, magnetroninėms, optinėms plėvelėms, superlaidžioms plėvelėms, jutimo plėvelėms ir funkcinėms plėvelėms ruošti.